表面微粒检测仪 不溶性微粒检测仪

表面微粒检测仪

表面微粒检测仪（SPD）测量和控制表面微粒污染的---使得其变得更好。新一代的涵盖了我们核心的表面测量技术能够分辨0.1微米的微粒并且大大增加了当今在洁净室中的使用。表面微粒等级控制在0.1微米范围内，成为了产量和过程控制中的关键。

优点

可预见的，每次的仪器*恢复。

减少25-50%的恢复时间

减少50%+的颗粒数

减少干燥处理及晶圆测试

减少泵的清洗周期

提升MTBC至4X或者更多

提升10%+的工具可用性

减少PM周期时间

减少故障事件

符合ISO-14644-9表面粒子规范

新型QIII ULTAR SPD 包括：

HeNe激光光学0.1微米的分辨率

采用新型的静态采样模式提高测量精度

新型7寸高分辨率（WVGA）屏幕，显示清晰的图像和文字。

新式取样头插座设计，取样头更换，更轻易，便利

双电池插槽设计，可热抽换，新式智慧型锂电池设计

收集的资料现在可以被很容易的通过USB下载

通过USB接口，软件可直接被用户升级

6个粒径通道，增强粒子的区分的可视性

不溶性微粒检测仪

*时间PM自净

如何测量过程室的洁净度在PM期间？SPD可以大大减少PM自净时间，green-to-green时间，并且提高了fab的吞吐量，通过使用QIII SPD，你能直接的测量物体表面精确的0.1微米的微粒。用QIII SPD开始清洁的结果是，*时间复原所有尺寸的粒子个数，让经过处理过的工具有明显的效果。

绿色-到-绿色 时间？（所有PM时间，包括了自净时间）

降低了50%的自净时间

保持低的green-to-green时间

QIII SPD 按PM实施

MTBC增长

通过结合QIII SPD在PM进程中粒子控制，MTBC可以增长。

举例1.1：300mm介质工具

MTBC pre-QIII SPD: 174 rf hrs

MTBC post-QIII SPD: 300 rf hrs

ROI:3.6个月

举例2.

举例1.2：300mm金属工具

MTBC pre-QIII SPD: 40 rf hrs

MTBC post-QIII SPD: 110 rf hrs

ROI:0.6个月