导读：无尘室之应用范围极广，一般而言，使用无尘室之产业或制造程序都与高科技有关，例如半导体组件生产、高精度机械加工、微机械制造，以及生化制药等。无尘室完工后，由具公信力之单位进行测试以认定其性能表现，称为无尘室认证。本文说明无尘室认证时所遵循之测试规范，无尘室定义与测试常用3种规范，1、Fed-Std-209E、2、IES-RP-CC006.2、3、Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms进行详细介绍。
洁净室（无尘室）可视为一个严格控制环境的场所，举凡洁净度、温湿度、风速、风量、平行度等都在管制范围之内。无尘室之应用范围极广，一般而言，使用无尘室之产业或制造程序都与高科技有关，例如半导体组件生产、高精度机械加工、微机械制造，以及生化制药等。而无尘室之性能，直接影响制造品质之良窳。因此任何无尘室在施工完毕后，都需经过详细的测试以验证其性能合于要求；并且在使用中也必须做定期测试与不定期抽测以确保性能。
无尘室之性能测试，需遵循化之标准与测试规范，使不同单位之测试程序一致，测试之结果具商公信力。无尘室完工后，由具公信力之单位进行测试以认定其性能表现，称为无尘室认证（Cleanroom Certification本文说明无尘室认证时所遵循之测试规范，无尘室定义与测试常用3种规范，1、Fed-Std-209E、2、IES-RP-CC006.2、3、Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms进行详细介绍。
无尘室之定义与测试，工业界常用的规范有三种，分别是美国联邦标准第209-E号，美国环境科学学会无尘室测试规范 IES-RP-CCO06.2，及美国国家环境平衡局之无尘室认证程序规范Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms，以下分别说明。
2-1美国联邦标准Fed-Std-209E
在1950年代，美国对洁净空气之定义仍是众说纷纭，军方、产业界、学术研究单位等都个有规格，并不统一。到1957年苏联发射人造卫星，使美国人认真考虑统一洁净空气定义统一必要。1961年Sandia Corp.成功开发层流型无尘室，加上同一期间伊利诺技术研究所将光散射式微粒计数器商品化，使美国人认为时机成熟，遂于1962年由军力、产业界、学术研究单位等推派代表开会，开始讨论规格之制订。于1963年8月，洁净空气规格草案被送到规格协会开始制定规格，于1963年12月，联邦标准Fed-Std-209正式发表，美国的洁净空气定义完成统一，同时确立无尘室之运转原则。
Fed-Std-209于1963年初次发表后，随着科学不断进步与产业技术之日新月异，也不断出现修订版。1966年发表Fed-Std-209A，是为*次改版，给予无尘室Class100，10,000，100,000等三个等级之分类。1973年发表Fed-Std-209B，将气流及相对湿度修正。1977年发表Fed-Std-209B之修正版，增加Class1,000。1987年发表Fed-Std-2O9C，增加Class 1与Class 1O0，并修改测试方法。1988年发表Fed-Std-209D，修改上一版印刷上之错误。1992年发表Fed-Std-209E，这是的版本。该版本增加了公制的无尘室规格，于等级前加一M字母来代表。在公制中，追加比英制Class 1更高之Class M1，和比Class100,000更低之Class M7。
Fed-Std-209E内容包括无尘室等级，微粒测试之仪器，微粒测试方式，数据分析方式。并对气流方式、气流速度、压力、温湿度、振动噪音、换气量等名词及参数分别提出其定义或是建议值。Fed-Std-209E现已成为上广被接受之无尘室设计、测试之共同标准，以下摘录几个重要的定义。
1.层流型无产室：气流在无尘室内以水平层流或垂直层流方式移动。
2.非层流型无尘室：气流在无尘室内不以层流方式移动，以往称乱流型无尘室。
3.混合型无尘室：气流在无尘室部份区域内以层流方式移动，其它区域以乱流方式移动。
4.As-built：已完工无尘室，但尚无人员与机械进入。
5.At-rest：已完工无尘室，机械已移入且可以操作或已在运转，但尚无人员进入。
6.Operational：已正常运转之无尘室。
Fed-Std-209E对无尘室设计、洁净度之定义、微粒量测等项目有详细之说明，但是对于所有其它与无尘室性能有关之项目，如气流与温湿度等之测试则无规范。因此测试气流及温湿度时，需要其它的测试规范来补充。
2-2美国环境科学学会无尘室测试规范IES-RP-CC006.2美国环境科学学会（Institute of Environmental Sciences）之污染控制组（Contamination Control Division），针对无尘室之测试，订定了一套无尘室测试规范，编号是Recommended Practice 006.2，名称是Testing Cleanrooms，简称IES-RP-CC006.2，是除了Fed-Std-209E之外，广为业界接受之测试标准。
本规范内容非常详细，除了未规范静电含量与导电度外，已包含所有之测试，可满足大部份之无尘室测试需求。因此所有的无尘室测试，都会要求其测试方式遵守本规范。
2-3 美国国家环境平衡局无尘室认证程序规范 NEBB
IES-RP-CC006.2对测试仪器及其校正并无说明，因此还需采用美国国家环境平衡局无尘室认证程序规范，补充规定测试仪器及其校正，下一节将说明该规范。
美国国家环境平衡局（National Environmental Balancing Bureau,NEBB）针对与环境有关的主题，发展出一系列之标准。其中与无尘室有关的，包括无尘室之空调系统调整，振动噪音控制，无尘室认证测试程序规范（Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms）等，这些都是产业界共同遵循的规范。本文针对无尘室认证，将无尘室认证测试程序规范之内容做一说明，目前版本是1996年发表之第二版。
NEBB的无尘室认证测试程序规范，在测试项目与方法方面，与环境科学学曾的IES-RP-CC006.2相同，并加上静电含量与导电度。本规范尚规定了允许使用的测试仪器，仪器之校正方式与期限，测试数据之分析方式，测试报告之建议格式，及对无尘室允收标准之建议。
