新闻中心您现在的位置:首页 > 新闻中心 > 无尘室定义与测试常用3种规范
无尘室定义与测试常用3种规范
发布时间:2013-05-02   点击次数:1060次

导读:无尘室之应用范围极广,一般而言,使用无尘室之产业或制造程序都与高科技有关,例如半导体组件生产、高精度机械加工、微机械制造,以及生化制药等。无尘室完工后,由具公信力之单位进行测试以认定其性能表现,称为无尘室认证。本文说明无尘室认证时所遵循之测试规范,无尘室定义与测试常用3种规范,1、Fed-Std-209E、2、IES-RP-CC006.2、3、Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms进行详细介绍。

洁净室(无尘室)可视为一个严格控制环境的场所,举凡洁净度、温湿度、风速、风量、平行度等都在管制范围之内。无尘室之应用范围极广,一般而言,使用无尘室之产业或制造程序都与高科技有关,例如半导体组件生产、高精度机械加工、微机械制造,以及生化制药等。而无尘室之性能,直接影响制造品质之良窳。因此任何无尘室在施工完毕后,都需经过详细的测试以验证其性能合于要求;并且在使用中也必须做定期测试与不定期抽测以确保性能。
无尘室之性能测试,需遵循国际化之标准与测试规范,使不同单位之测试程序一致,测试之结果具商公信力。无尘室完工后,由具公信力之单位进行测试以认定其性能表现,称为无尘室认证(Cleanroom Certification本文说明无尘室认证时所遵循之测试规范,无尘室定义与测试常用3种规范,1、Fed-Std-209E、2、IES-RP-CC006.2、3、Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms进行详细介绍
无尘室之定义与测试,工业界常用的规范有三种,分别是美国联邦标准第209-E号,美国环境科学学会无尘室测试规范 IES-RP-CCO06.2,及美国国家环境平衡局之无尘室认证程序规范Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms,以下分别说明。
2-1美国联邦标准Fed-Std-209E
在1950年代,美国对洁净空气之定义仍是众说纷纭,军方、产业界、学术研究单位等都个有规格,并不统一。到1957年苏联发射人造卫星,使美国人认真考虑统一洁净空气定义统一必要。1961年Sandia Corp.成功开发层流型无尘室,加上同一期间伊利诺技术研究所将光散射式微粒计数器商品化,使美国人认为时机成熟,遂于1962年由军力、产业界、学术研究单位等推派代表开会,开始讨论规格之制订。于1963年8月,洁净空气规格草案被送到规格协会开始制定规格,于1963年12月,联邦标准Fed-Std-209正式发表,美国的洁净空气定义完成统一,同时确立无尘室之运转原则。
Fed-Std-209于1963年初次发表后,随着科学不断进步与产业技术之日新月异,也不断出现修订版。1966年发表Fed-Std-209A,是为*次改版,给予无尘室Class100,10,000,100,000等三个等级之分类。1973年发表Fed-Std-209B,将气流及相对湿度修正。1977年发表Fed-Std-209B之修正版,增加Class1,000。1987年发表Fed-Std-2O9C,增加Class 1与Class 1O0,并修改测试方法。1988年发表Fed-Std-209D,修改上一版印刷上之错误。1992年发表Fed-Std-209E,这是的版本。该版本增加了公制的无尘室规格,于等级前加一M字母来代表。在公制中,追加比英制Class 1更高之Class M1,和比Class100,000更低之Class M7。
Fed-Std-209E内容包括无尘室等级,微粒测试之仪器,微粒测试方式,数据分析方式。并对气流方式、气流速度、压力、温湿度、振动噪音、换气量等名词及参数分别提出其定义或是建议值。Fed-Std-209E现已成为国际上广被接受之无尘室设计、测试之共同标准,以下摘录几个重要的定义。
1.层流型无产室:气流在无尘室内以水平层流或垂直层流方式移动。
2.非层流型无尘室:气流在无尘室内不以层流方式移动,以往称乱流型无尘室。
3.混合型无尘室:气流在无尘室部份区域内以层流方式移动,其它区域以乱流方式移动。
4.As-built:已完工无尘室,但尚无人员与机械进入。
5.At-rest:已完工无尘室,机械已移入且可以操作或已在运转,但尚无人员进入。
6.Operational:已正常运转之无尘室。
Fed-Std-209E对无尘室设计、洁净度之定义、微粒量测等项目有详细之说明,但是对于所有其它与无尘室性能有关之项目,如气流与温湿度等之测试则无规范。因此测试气流及温湿度时,需要其它的测试规范来补充。
2-2美国环境科学学会无尘室测试规范IES-RP-CC006.2美国环境科学学会(Institute of Environmental Sciences)之污染控制组(Contamination Control Division),针对无尘室之测试,订定了一套无尘室测试规范,编号是Recommended Practice 006.2,名称是Testing Cleanrooms,简称IES-RP-CC006.2,是除了Fed-Std-209E之外,广为业界接受之测试标准。
本规范内容非常详细,除了未规范静电含量与导电度外,已包含所有之测试,可满足大部份之无尘室测试需求。因此所有的无尘室测试,都会要求其测试方式遵守本规范。
2-3 美国国家环境平衡局无尘室认证程序规范 NEBB
IES-RP-CC006.2对测试仪器及其校正并无说明,因此还需采用美国国家环境平衡局无尘室认证程序规范,补充规定测试仪器及其校正,下一节将说明该规范。
美国国家环境平衡局(National Environmental Balancing Bureau,NEBB)针对与环境有关的主题,发展出一系列之标准。其中与无尘室有关的,包括无尘室之空调系统调整,振动噪音控制,无尘室认证测试程序规范(Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms)等,这些都是产业界共同遵循的规范。本文针对无尘室认证,将无尘室认证测试程序规范之内容做一说明,目前版本是1996年发表之第二版。
NEBB的无尘室认证测试程序规范,在测试项目与方法方面,与环境科学学曾的IES-RP-CC006.2相同,并加上静电含量与导电度。本规范尚规定了允许使用的测试仪器,仪器之校正方式与期限,测试数据之分析方式,测试报告之建议格式,及对无尘室允收标准之建议。
苏州长留净化科技有限公司

苏州长留净化科技有限公司

工厂地址:苏州吴中经济开发区东方大道1210号

©2018 版权所有:苏州长留净化科技有限公司  备案号:苏ICP备10216823号-2  总访问量:604711  站点地图  技术支持:环保在线  管理登陆

QQ在线客服
联系方式

18915420690

86-512-62387955/0512-66985755