高效过滤检漏仪是一款根据要求设计的手动计数扫描检漏仪器，适用于洁净室高效风口的在线检漏。它的基本原理是通过计数检漏仪检测过滤器上游浓度，根据过滤器的效率计算得到过滤器的下游漏点值，通过实际测量高效风口下游漏点值并跟计算的漏点值进行比较，实现对安装后的风口进行检漏。蓝色液晶大屏幕可实时监测下游端的粒子数及相关粒径范围。并把信息输送到手持探头的显示器上。用户只要预先测量过滤器上游浓度，仪器会根据输入的过滤器效率自动计算出漏点值，并连接手持探头，通过“启/停"键，就能在扫描过程中获得漏点的超标信息。在污染的大气环境中，该检漏仪重新标定极为迅速，可以防止给出错误读数。内置特殊的微型高效泵有助于减少渗漏响应时间。因此得到了广泛的应用！

　　高效过滤检漏仪的操作方法：

　　1、插上电源，打开“电源开关”，此时可听到电机的起动。

　　2、真空泵启动10分钟后（环境温度低于7℃时应运转15---20分种），打开高效过滤检漏仪的检测开关，如果在探头上方的窗口内可看到微弱的暗紫色激发光（即“起辉”），且液晶显示屏下侧基数值接近该仪器枪头上所标数值时则可以开始测量。(开机后显示屏中间大数值为实时检测的SF6气体浓度，不需要再查表，下方小数值为基数值，此基数值只作为仪器稳定性的参考。)

　　3、如果不“起辉”，则可用手指堵住探头（针阀）的进气口，以提高真空系统的真空度。如堵住探头后的10秒内仍不“起辉”，待10分钟后在再堵住探头后的10秒内，否则将损坏有关电子器件。

　　4、开机60秒，高效过滤检漏仪将自校准取零点，如60秒内没能取到零点，则将手持探头在空气中，按“确认”键，取零点。

　　5、10分钟后，在检漏仪达到一定的真空度，基数值基本稳定后，将探头移至被检处，如果有气体泄露，此时液晶显示屏上的读数增大，显示体积比浓度。

　　6、按“”键设置报警点，当测量的体积比浓度大于报警点，高效过滤检漏仪将发出滴滴的报警声。