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洁净室气流流型检测方法及注意事项
发布时间:2016-07-29   点击次数:1950次

气流流型的检测

1 气流流型的检测包括气流目测和气流流向的测试。气流目测可采用示踪线法、发烟(雾)法和采用图像处理技术等方法。气流流向的测试一般采用示踪线法、发烟(雾)法和三维法测量气流速度等方法。

2 采用示踪线法时可采用尼龙单丝线、棉线、薄膜带等轻质纤维,放置在测试杆的末端,或装在气流中细丝格栅上,直接观察出气流的方向和因干扰引起的波动。

3、采有发烟(雾)法时,可采用去离子水,用固态二氧化碳(干冰)或超声波雾化器等生成直径为0.5~50μm的水雾,采用四氯化钛(TiCl4)作示踪粒子时,应确保洁净室、室内设备以及操作人员不受四氯化钛产生的酸伤害。

4 采用图像处理技术进行气流目测时,由C.5.2得到的在摄像机或膜上的粒子图像数据,利用二维空气流速度矢量提供量化的气流特性。图像处理技术要求带有适用的接口和软件的数字计算机。

5 采用三维法测量气流速度、采用热球风速计或超声风速计,检测点选择在关键工作区及其工作面高度。根据建设方要求需进行洁净室(区)的气流方向的均匀分布测试时,应进行多点测试

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