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无尘室的气流流行
发布时间:2016-06-30   点击次数:690次

   无尘室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之

移动、扩散受到气流的支配。

无尘室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤

器过滤的空气可说十分干净。然而无尘室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘

埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素,一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,

此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱

之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度

水准之时,能以zui适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。

另一方面欲达到无尘室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法

保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事

实上很困难。

垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回

风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象

发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,(21世纪80、90年代)一般无尘室,其风速均取在

0.25~0.5m/s之间。

影响无尘室的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产

设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可

使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区

前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘

埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。

无尘室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较

差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少zui低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是

否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

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