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无尘洁净室的密闭性测试
发布时间:2016-08-08   点击次数:733次

密闭性测试

密闭性测试用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室(区)或非洁净室(区)通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室(区)。

一般适用于1级至5级的洁净室(区)进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。

采用粒子计数器法时,测量被评价的表面的洁净室(区)外部的空气中悬浮粒子浓度,应比洁净室(区)内的浓度大一个10ª(a=4)的倍数,并至少大于等于3.5×106/m³待测粒径;若其空气中悬浮粒子浓度小于该值,应添加气溶胶提高浓度。

粒子计数器扫描时,仪器应距离洁净室(区)内待测试的接缝密封处或啮合面5-10cm;扫描速度5cm/s。对敞开的门廊处的测试,应在距离洁净室内敞开的门0.3 -3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度。

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