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洁净室的气流流型检测
发布时间:2016-06-03   点击次数:9244次

气流流形的检测应按以下步骤进行:

1 布置测点:

1)垂直单向流洁净室选择纵、横剖面各一个,以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个;

水平单向流洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个,以及距送、回风墙面0.5和房间中心

处等3个横剖面,所有面上的测点间距均为0.2m~1m;

2)乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各一个,剖面上

的测点间距为0.2m~0.5m,水平面上测点间距为0.5m~1m。两个风口之间的中线上应有测

点。

2 测定方法:用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向,并可用量角器量出角

度,发烟源可用超声波雾化(0.5um~50um水雾)的去离子(DI)水、喷射方法生成的乙醇或

二醇、固态二氧化碳(干冰)等,在高强度光源下示踪。在确保对人和物无伤害时可以四氯化

钛(TiCl4)作示踪粒子。

气流流向的检测方法如下:

1 当要检测一个区域的定向流流向时,应在该区域头尾之间,分段立杆,杆上不同高度挂有单

丝线,或者发烟,按照测定气流流型同样方法,观测定向流流向并记录。也可分段接力发烟,

目测绘制或摄影、摄像。

2 当要检测一个洁净室的定向流流向时,应在该室门口至排(回)风口之间设立测干,方法同

上。

流线平行性应按照以下方法检测:

1 用单丝线观测送风平面的气流流向,每台过滤器对应一个观察点。

2 用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度,避免人的干扰。

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