根据“洁净厂房设计规范”GB 50073-2002中名词解释,洁净室就是“空气悬浮粒子(灰尘、微生物……)浓度受控的房间。其建造和使用方式使房间内进入的、产生的、滞留的粒子zui少,同时,还要按生产工艺的要求对房间内的温度、湿度、压力、静电、振动、噪声等其他相关参数也要受控。”
洁净室已广泛地应用在电子(微电子、光电子等)、航天、机械、化工、农业、制药、医疗、食品、实验动物饲养、生物安全和生物工程等各行各业。并且,随着科学技术和国民经济的迅猛发展,洁净室和洁净技术的应用将越来越广泛、越深入、越重要。
从洁净室的建造、使用和维护而言,洁净室有四大技术要素:
A、洁净室的净化空调系统至少应有粗效、中效和过滤器三级过滤措施。尤其是在终端应有过滤器(HEPA)或超过滤器(ULPA)。
B、洁净室送风应有足够的空调(消除室内余热、余湿)和净化(保持洁净度)送风量。其送风量不仅能消除室内的余热和余湿,保证室内的温度和相对湿度,同时还能消除或稀释室内的粒子污染,保证室内的洁净度要求。
C、洁净室必须建立和维持必要的相对压差(正压或负压)。可用压差测试仪检测
D、洁净室应有合理的气流流型,以保证其室内的洁净度和温、湿度等参数。(可用温湿度测试仪检测)